Impact - Konstruktionsprinzip
Die IMPACT-Messtechnologie stellt eine Spitzenleistung im Bereich Hochtemperatur-Drucksensoren dar, die bei der Herstellung und Verarbeitung von Kunststoffen (MELT) eingesetzt werden. Diese innovative Lösung nutzt ein piezoresistives Prinzip, das den Einsatz von Übertragungsflüssigkeiten überflüssig macht. Sie misst direkt die mechanische Verformung eines piezoresistiven Siliziumelements als Reaktion auf Druckschwankungen.
Das empfindliche Element ist ein SOI-Chip, der in einem quadratischen Hohlraum auf einem keramischen Träger positioniert ist. Durch eine mechanische Vorspannung zwischen Silizium-Messmembran und äußerer Kontaktmembran wird eine optimale Lastübertragung gewährleistet. Dieses "schwimmende" Sensorkonzept macht die Verwendung zusätzlicher Materialien überflüssig, die in herkömmlichen Chip-Bondingtechnologien verwendet werden. Die durch die Membranablenkung verursachte Belastung wird von Piezowiderständen erfasst, die über der Membran angeordnet und in einer Wheatstone-Brücken-Konfiguration angeschlossen sind.
Drucksensoren der Impact-Serie
Dank extremer Robustheit kann der IMPACT in Anwendungen mit säurehaltigen oder abrasiven, zähflüssigen Medien bei hohen Temperaturen eingesetzt werden. Das kompakte Design des Segments, das die mechanische Belastung überträgt, ermöglicht den Einsatz auch bei schwankenden Druckbedingungen.